磁控溅射真空镀膜首页 > 设备类 > 磁控溅射真空镀膜

 

磁控溅射真空镀膜

设备简介:

溅射车灯真空镀膜机是在真空状态下,专业在注塑或金属表面进行溅射镀铝、镀锡等专业设备。配备先进的工艺和稳定的监测工具,使得它成膜速度快,膜层致密性好、纯度高、色泽鲜亮,膜厚均匀、牢固,且不产生工业废水,避免对环境的污染,是大规模生产的理想设备。设备广泛应用在汽车反射镜、汽车灯具、手机、工艺品、装饰等行业。本装置是在真空状态下将注塑物表面上进行离子轰击清洗后利用溅射镀金属膜,继续保持真空环境,在镀过的金属膜表面直接镀氧化保护膜(SiOx 氧化硅膜)的磁控溅射设备。在真空室内自动连续进行低真空排气、电弧轰击前处理(产品表面清洗、活性化)、高真空排气(X10-5Torr)、铝蒸散(镀铝膜)、防氧化膜镀膜(铝膜上覆盖氧化硅硬化膜防止铝膜氧化脱落)等工序。真空室是立式双开门结构,产品挂具固定在门上可以自转,旋转速度可通过变频器无极调速。设备的设置和操作由触摸式显示屏完成,并直观的显示整个设备运行状态。

1.真空室尺寸   :双开门,φ900(φ800,φ700)×1552H,材料:SUS304
2.真空系统        : 机械泵(RP)+罗茨泵(MBP)+扩散泵(DP)+超低温冷冻机单元(达到零下140度)。
3.循环冷却水装置  :真空系统冷却水单元;磁控溅射电极冷却单元。
4.工艺电源        :直流电源(铝溅射使用);DC POWER;中频电源(前处理和氧化保护膜镀膜处理使用);MF POWER。
5.控制系统        :可编程控制器,触摸屏。
6.生产周期        :220~390秒(根据产品有所不同)。